累积式氦检漏仪

累积式氦气检漏仪结合低温超高真空与质谱技术，提供优于常规的GROSS和

FINE检漏方法的密闭性测试技术，可应用于包含氮、氦、氩、氪氙等任一种

气体或已轰入氦气的任何密闭性原件。泄漏检测灵敏度高，符合 MIL-STD-750

和 MIL-STD-883 标准。

产品特性：

最低可检漏率：大于4x10-14 毫巴升/秒

测量范围 ：15个量级

质谱仪：采用四级质谱仪，系统运行时间长

典型应用：高可靠性电子部件（空间、卫星部件）；大型混合封装电路；SMD封装件等